メニュー
製品情報
Products
製品情報

  • NX System
    「Simple is the Best」を基本に、防錆機能を強化し、
    更に進化するNew Daiwa Systemを構築しました。
    マガジンラック式自動投入機
    (型番：NX201)
    製品名 マガジンラック式自動投入機 (型番：NX201)
    標準仕様
    基板寸法 最小510㎜(W)（一定）×340㎜(L)
    最大510㎜(W)（一定）×510㎜(L)
    基板厚み 0.4㎜～2.3㎜
    処理量 6枚／分
    特徴 マガジンラックから1枚ずつ取り出し、ラインへ投入する装置です。
    マガジンラックとは、基板を1枚ずつ立てるラックのことで、このラックは基板同士が接触しない点が特徴です。
  • Dラック式自動投入機
    （3軸ロボットタイプ）（型番：NX761）
    製品名 Dラック式自動投入機
    （3軸ロボットタイプ）（型番：NX761）
    標準仕様
    基板寸法 最小300㎜(W)×300㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜～3.2㎜
    処理量 7枚／分
    特徴 0.1mm以下の薄い基板に対応が可能です。Dラックからラインへ1枚ずつ基板を投入する装置です。この装置は投入動作部分に、3軸のロボットを使用しています。ダイワのオリジナルである3軸ロボットは、なんと日本初！3軸ロボットを導入したことにより、不揃いな基板サイズにも対応可能となり、かつ、様々なラック形態に対応が可能となりました。
    【対応可能のラック】
    ・Dラック(薄い基板)・Lラック(通常の厚み～厚い基板)・パレット（平積み）…等
    他、ご相談ください。
  • Dラック式自動受取機
    （型番：NX817）
    製品名 Dラック式自動受取機（型番：NX817）
    標準仕様
    基板寸法 最小300㎜(W)×300㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜～3.2㎜
    処理量 6枚／分
    特徴 0.1ｍｍ以下の薄い基板に対応された弊社オリジナルの装置です。
    ラインから流れてくる基板を受け取り、Dラックへ保管していきます。
    この装置の専用ラックであるDラックは平面に近い角度で製作されているため、薄い基板が滑り難いのが特徴です。
■ その他　取扱い製品
・マガジンラック式自動受取機（型番：NX501）
・Dラック式自動投入機（型番：NX715）
・薄型対応アルミラック式自動投入機（型番：NX239）
・薄型対応アルミラック式自動受取機（型番：NX256）
・平積式自動投入機（型番：NX101）
・平積式自動受取機（型番：NX102）
  • VF Series
    VF-Seriesとは、マテリアル･ハンドリングシステムの
    スタンダードタイプシリーズです。
    可搬式ラック自動受取機
    （型番：VF244）
    製品名 可搬式ラック自動受取機（型番：VF244）
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.1㎜～3.2㎜
    能力 6枚／分　(高速タイプ:8枚／分)
    特徴 ラインから流れてくる基板をアームで受け取り、可搬式ラック（Lラック）に重ねて回収していく装置です。自立のできる薄い基板から厚い基板まで対応しています。この可搬式ラックはLラックとも呼ばれています。受取機と対になる可搬式ラック自動投入機で、ダイワの名をメジャーにしました。
■ その他　取扱い製品
・可搬式ラック自動投入機（型番：VF228）
・段積ストックコンベア（型番：VF453）
・ウィケット式コンベア（型番：VF160）
・アルミラック式自動投入機（型番：VF239）
・アルミラック式自動受取機（型番：VF256）
・ターンコンベア（L字方向・T字方向・十字方向）（型番：VF153）
・中央整列コンベア（型番：VF155）
・90度基板回転コンベア（型番：VF800）
・90度方向変換コンベア（型番：VF900）
・可搬式ラック合紙取出式自動投入機（型番：VF229）
・可搬式ラック合紙挿入式自動受取機（型番：VF245）
  • W system
    W-Seriseとは、基板と基板の間に合紙が入っている状態で基板をライン投入し、合紙はストックヤードに取出をする。
    また、受取機はラインより基板を、ストックヤードより合紙を挿入し受け取る装置です。
    W-system自動受取機
    （型番：WU318）
    製品名 W-system自動受取機（型番：WU318）
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.03㎜～3.2㎜
    処理量 6枚／分
    特徴 Dラックと同様、0.1mm以下の薄い基板に対応できるWラックに、コンベアを傾斜させて、ラインから流れてくる基板を受け取ります。
    基板や合紙を吸着パッドを使用せずに受け取るため、基板への接触を最小限にすることができます。
■ その他　取扱い製品
・W-system自動投入機（型番：WL318）
  • LX Series
    オートローダー
    （ロータリータイプ）
    （型番：LX423）
    製品名 オートローダー（ロータリータイプ）（型番：LX423）
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.05㎜～3.2㎜
    処理量 基板交換時間5.5秒（最速）
    特徴 生産・検査装置(露光機や中間検査装置等)のステージ上に置かれた基板1枚を取り出し、次に処理をしたい基板1枚をステージ上に自動で置く装置です。
    現在、手動で基板を投入･取り出しをしている工程の自動化が可能となります。
    基板を搬送する部分に対に1枚ずつ持てる吸着ハンドがあり、同時に2枚搬送することが出来る装置です。
    生産・検査装置のステージ上で180°回転し、基板の投入・取り出しを行います。
■ その他　取扱い製品
・オートローダー（ストレートタイプ）（型番：LX393）
・オートローダー（type R）（型番：LX607）
  • BR Series
    ブラシ式基板クリーナー
    （型番：BR220）
    製品名 ブラシ式基板クリーナー（型番：BR220）
    標準仕様
    基板寸法 最小250㎜(W)×250㎜(L)
    最大610㎜(W)×610㎜(L)
    基板厚み 0.4㎜～3.2㎜
    処理量 6枚／分
    特徴 特殊ファイバー製ブラシによりゴミ剥離を行い、ブロワー吸引により集塵を行います。
    0.4mm以上の厚みの基板に対応します。
    パターン形成後等、段差のある基板の洗浄に有利です。
■ その他　取扱い製品
・薄板対応バフ式クリーナー（型番：BR330）0.06～0.4mm
  • 露光装置
    全自動両面同時露光機
    （型番：DAE-2900）
    製品名 全自動両面同時露光機（型番：DAE-2900）
    標準仕様
    光源 ショートアークランプ 5kW×2
    UV-LEDユニット×2
    メタルハライドランプ 7kW×2
    基板サイズ 660㎜×558mm～330㎜×300㎜(26"×22"～13"×11.8")
    サイクルタイム 9.5秒(真空待ち時間2秒含む)＋露光時間
    特徴 最新の搬送・密着機構と光学設計により高生産性を達成、高剛性アライメント機構により高精度も実現した全自動両面同時露光機です。
  • 高精度ソルダーレジスト用自動露光装置
    （型番：DAE-2700）
    製品名 高精度ソルダーレジスト用自動露光装置
    （型番：DAE-2700）
    標準仕様
    光源 メタルハライドランプ 12kW×2
    ショートアークランプ 8kW×2
    基板サイズ (G)635㎜×535㎜～330㎜×300㎜(25"×21"～13"×11.8")
    (W)660㎜×558㎜～330㎜×300㎜(26"×22"～13"×11.8")
    サイクルタイム 9.5秒(真空待ち時間2秒含む)＋露光時間
    特徴 高精度、且つ高生産性を実現したソルダーレジスト用自動露光装置です。
  • 高精度パターン用全自動露光装置
    （型番：DAE-2500）
    製品名 高精度パターン用全自動露光装置
    （型番：DAE-2500）
    標準仕様
    光源 ショートアークランプ 5kW×1
    UV-LEDユニット×2
    基板サイズ (G)635㎜×535㎜～330㎜×300㎜(25"×21"～13"×11.8")
    (W)660㎜×558㎜～330㎜×300㎜(26"×22"～13"×11.8")
    サイクルタイム 9.5秒(真空待ち時間2秒含む)＋露光時間
    特徴 高照度、高精度、高生産性を実現した回路形成用コンタクト式自動露光装置です。
  • ハイエンド基板用自動露光装置
    （型番：DAE-2031B）
    製品名 ハイエンド基板用自動露光装置（型番：DAE-2031B）
    標準仕様
    光源 ショートアークランプ 4kW×2(PT)
    ショートアークランプ 8kW×2(SR)
    基板サイズ (G)635㎜×535㎜～330㎜×330㎜(25"×21"～13"×13")
    (W)660㎜×558㎜～330㎜×330㎜(26"×22"～13"×13")
    サイクルタイム (一括) 11.5秒(真空待ち時間2秒含む)＋露光時間
    (分割) 7.5秒(真空待ち時間2秒含む)＋露光時間×分割数＋4秒
    特徴 平行光光学系・分割露光機構・高照度ランプ・温湿度調整ユニット・クリーニング機構を搭載した、コンタクト式のハイエンド自動露光装置です。
  • 両面同時露光装置ソルダーマスク用
    （型番：DME-680GW）
    製品名 両面同時露光装置ソルダーマスク用
    （型番：DME-680GW）
    標準仕様
    光源 メタルハライドランプ 7kW×2
    露光面積 610mm×810mm(24"×32")
    照度分布 80％
  • フォトエッチング用平行光両面露光装置
    （型番：DME-1201）
    製品名 フォトエッチング用平行光両面露光装置
    （型番：DME-1201）
    標準仕様
    光源 ショートアークランプ 5kW×1
    露光面積 610mm×610mm(24"×24")
    照度分布 80％
  • 紫外線コンベアー
    （型番：DUC-2300）
    製品名 紫外線コンベアー（型番：DUC-2300）
    標準仕様
    光源 メタルハライドランプ 8.4kW×3
    ランプ入力 120W/cm 80W/cm（切替式）
    有効照射幅 600mm
  • 両面紫外線コンベアー
    （型番：DUC-2215）
    製品名 両面紫外線コンベアー（型番：DUC-2215）
    標準仕様
    光源 メタルハライドランプ 8.4kW×3
    ランプ入力 120W/cm 80W/cm（切替式）
    有効照射幅 600mm
Accessory
  • 薄型基板対応アルミラック
    （型番：ABR-220）
  • マガジンラック（型番：NX901）
  • Dラック（型番：RD003）
  • Dラック台車（型番：WD002）
  • 自動搬送台車（型番：WG101）
ページトップへ